Проведено расчетно-теоретическое и экспериментальное исследование механизмов генерации УФ излучения при возбуждении линейки или матрицы микрошнуров плазмы в сильноточном разряде короткой длительности. Определены оптимальные геометрические и электротехнические параметры, при которых реализуются эффективные режимы генерации коротковолнового УФ излучения. Получена интенсивная генерация УФ в спектральном диапазоне \Delta\lambda=180 - 300 нм при работе открытого источника в окружающей атмосфере воздуха и в диапазоне \Delta\lambda=100 - 300 нм при использовании азота и инертных газов. Предложены оригинальные способы организации излучающих разрядов, обеспечивающих низкоиндуктивный RCL - разрядный контур и повышенную частоту срабатывания. Показана возможность создания широкоапертурных источников УФ, что представляет интерес для промышленного использования в лазерной технике, микроэлектронике, нефтехимии, медицине и экологии.
Работа выполнена при поддержке РФФИ, грант ? 02-02-08069-инно
Номер документа: 2003-15/728
Авторы: С. Г. Дамбраускас, В.В. Иванов, А. Т. Рахимов, В. Б. Саенко
Email: VSaenko@mics.msu.su