Итоги совместной работы НИИТМ и отдела микроэлектроники НИИЯФ МГУ по исследованию плазменных процессов

Укрепление кооперации – важный для НИИТМ (входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) инструмент для развития научного и технического потенциала компании. Взаимодействие с другими ведущими организациями позволяет обмениваться накопленными знаниями и опытом в области разработки технологического оборудования, что способствует достижению стратегических целей компании и отрасли в целом.
Так, команда НИИТМ выполнила несколько проектов в кооперации с учёными отдела микроэлектроники Научно-исследовательского института ядерной физики имени Д. В. Скобельцына (НИИЯФ) МГУ имени М. В. Ломоносова. Сотрудничество началось в 2022 году, за это время был проведен ряд совместных работ в части разработки оборудования атомно-слоевого травления, плазмохимического травления и плазмохимического осаждения из газовой фазы.

Читать материал подробнее »